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Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.
介绍了准分子激光微加工的机理 、 特点和应用.
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The paper introduces pulsed laser micromachining and its application in microelectromechanical systems ( MEMS ).
介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS ) 加工中的应用.
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