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We made the Czochralski silicon single crystal with a diameter of 12 inches.
直径12英寸直拉单晶硅研制成功.
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Keywords: micro - gyroscope , silicon single crystal, three - axis angular - rate sensing, natural frequency and mode shapes.
关键词: 微型陀螺仪 、 矽单晶 、 三轴 角速率 感测 、 振动自然频率与模态.
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