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Electron - beam lithography with a novel multilevel resist structure defines the pattern.
采用新型的多层抗蚀剂结构的电子束光刻来形成图形.
辞典例句
The fabrication of Bragg gratings on silicon - on - insulator ( SOI ) rib waveguides using electron - beam lithography is presented.
报道了一种用电子束曝光的方法在 绝缘体上硅 的脊状光波导上制做布拉格光栅的技术.
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电子束光刻???
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